Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Жуков Андрей Александрович. Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики
- Краткое описание:
- Жуков Андрей Александрович. Физико-химические и технологические основы получения полиимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : Дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.01, 05.27.06 : Москва, 2003 315 c. РГБ ОД, 71:04-5/71-8
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб