Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Силаков Михаил Валерьевич. Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии
- Краткое описание:
- Силаков Михаил Валерьевич. Использование численного моделирования на основе метода Монте-Карло для исследования и оптимизации процессов высокоэнергетической электронной литографии : Дис. ... канд. физ.-мат. наук : 05.27.01 : Москва, 2003 151 c. РГБ ОД, 61:04-1/135-0
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб