Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Голишников Александр Анатольевич. Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы
- Краткое описание:
- Голишников Александр Анатольевич. Исследование и разработка процессов плазменного травления функциональных слоев СБИС с использованием источников высокоплотной плазмы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 167 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/2667-4
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб