Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Савкин Алексей Владимирович. Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники
- Краткое описание:
- Савкин Алексей Владимирович. Импульсная плазменная очистка технологических сред от микробиологических объектов в производстве изделий микро- и наноэлектроники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 141 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/1187-4
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб