Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Изюмов Михаил Олегович. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления
- Краткое описание:
- Изюмов Михаил Олегович. Исследование процессов травления диоксида кремния, кремния, полимерных пленок в химически активной плотной плазме ВЧ индукционного разряда низкого давления : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01.- Ярославль, 2001.- 159 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-1/162-2
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб