Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
- Название:
- Беневоленский, Сергей Борисович. Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники
- ВУЗ:
- Рос. гос. технологич. ун-т им. К. Э. Циолковского
- Краткое описание:
- Беневоленский, Сергей Борисович. Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Рос. гос. технологич. ун-т им. К. Э. Циолковского.- Москва, 2000.- 37 с.: ил. РГБ ОД, 9 00-2/2118-8
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб