Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Вазарёв, Юрий Николаевич. Формирование мелкозалегающих легированных слоёв в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки
- Краткое описание:
- Вазарёв, Юрий Николаевич. Формирование мелкозалегающих легированных слоёв в кремнии диффузией из поверхностного источника в условиях быстрой термической обработки : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Таганрог, 1998.- 16 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб