Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Марголин, Владимир Игоревич. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике
- ВУЗ:
- Санкт-Петербург. электротехн. ун-т
- Краткое описание:
- Марголин, Владимир Игоревич. Прецизионная литография в твердотельной электронике и микроэлектронике : автореферат дис. ... доктора технических наук : 05.27.01 / Санкт-Петербург. электротехн. ун-т.- Санкт-Петербург, 1998.- 29 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-5/3327-7
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб