Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Рыбачек, Елена Николаевна. Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС
- Краткое описание:
- Рыбачек, Елена Николаевна. Экологически безопасное плазменное травление кремния и кремнийсодержащих материалов для формирования элементов БИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 1998.- 162 с.: ил. РГБ ОД, 61 99-5/81-6
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб