Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Райнова, Мария Юрьевна. Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС
- ВУЗ:
- Моск. ин-т электронной техники
- Краткое описание:
- Райнова, Мария Юрьевна. Исследование и разработка процессов формирования непроникающих омических контактов на основе силицида титана к мелкозалегающим Р-П-переходам кремниевых ИС : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Моск. ин-т электронной техники.- Москва, 1997.- 22 с.: ил. РГБ ОД, 9 97-2/556-0
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб