Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
- Название:
- Агеев, Олег Алексеевич. Исследование температурных полей, напряжений и дефектрообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением
- Краткое описание:
- Агеев, Олег Алексеевич. Исследование температурных полей, напряжений и дефектрообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Таганрог, 1996.- 16 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб