Агеев, Олег Алексеевич. Исследование температурных полей, напряжений и дефектрообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением



  • Название:
  • Агеев, Олег Алексеевич. Исследование температурных полей, напряжений и дефектрообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Таганрог
  • Год защиты:
  • 1996
  • Краткое описание:
  • Агеев, Олег Алексеевич. Исследование температурных полей, напряжений и дефектрообразования в кремниевых структурах ИС при быстрой термической обработке некогерентным излучением : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Таганрог, 1996.- 16 с.: ил.
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины