Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
скачать файл:
- Название:
- Васильев, Андрей Георгиевич. Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники
- Краткое описание:
- Васильев, Андрей Георгиевич. Исследование одностадийных низкотемпературных процессов формирования силицидных контактных и нитридных барьерных слоев для технологии микроэлектроники : автореферат дис. ... доктора физико-математических наук : 05.27.01 / Рос. академия наук.- Москва, 1995.- 35 с.: ил. РГБ ОД, 9 95-5/122-9
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб