Бабанов, Юрий Евгеньевич. Механизмы поверхностных процессов при спонтанном травлении кремния атомами фтора



  • Название:
  • Бабанов, Юрий Евгеньевич. Механизмы поверхностных процессов при спонтанном травлении кремния атомами фтора
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Черноголовка
  • Год защиты:
  • 1994
  • Краткое описание:
  • Бабанов, Юрий Евгеньевич. Механизмы поверхностных процессов при спонтанном травлении кремния атомами фтора : автореферат дис. ... кандидата физико-математических наук : 05.27.01.- Черноголовка, 1994.- 20 с.: ил.
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины