Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
- Название:
- Ануров Алексей Евгеньевич. Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения
- ВУЗ:
- ФГБОУ ВО «Национальный исследовательский университет «МЭИ»
- Краткое описание:
- Ануров Алексей Евгеньевич. Методы формирования объемных микроструктур устройств микроэлектроники и микросистемной техники космического назначения: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.27.01 / Ануров Алексей Евгеньевич;[Место защиты: ФГБОУ ВО «Национальный исследовательский университет «МЭИ»], 2017
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб