Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
- Название:
- Волоховский Александр Дмитриевич. Исследование и разработка системы характеризации процессов формирования наноразмерных элементов интегральных схем
- ВУЗ:
- ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»
- Краткое описание:
- Волоховский Александр Дмитриевич. Исследование и разработка системы характеризации процессов формирования наноразмерных элементов интегральных схем: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.27.01 / Волоховский Александр Дмитриевич;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»], 2018.- 120 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб