Громов Александр Леонидович. Разработка и исследование технологических основ наноразмерного профилирования методом фокусированных ионных пучков для создания элементов микро- и наносистемной техники :



  • Название:
  • Громов Александр Леонидович. Разработка и исследование технологических основ наноразмерного профилирования методом фокусированных ионных пучков для создания элементов микро- и наносистемной техники
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • ФГАОУВО Южный федеральный университет
  • Год защиты:
  • 2016
  • Краткое описание:
  • Громов Александр Леонидович. Разработка и исследование технологических основ наноразмерного профилирования методом фокусированных ионных пучков для создания элементов микро- и наносистемной техники: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.27.01 / Громов Александр Леонидович;[Место защиты: ФГАОУВО Южный федеральный университет], 2016
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины