Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
- Название:
- Громов Александр Леонидович. Разработка и исследование технологических основ наноразмерного профилирования методом фокусированных ионных пучков для создания элементов микро- и наносистемной техники
- ВУЗ:
- ФГАОУВО Южный федеральный университет
- Краткое описание:
- Громов Александр Леонидович. Разработка и исследование технологических основ наноразмерного профилирования методом фокусированных ионных пучков для создания элементов микро- и наносистемной техники: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.27.01 / Громов Александр Леонидович;[Место защиты: ФГАОУВО Южный федеральный университет], 2016
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб