Шаныгин Виталий Яковлевич. Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления :



  • Название:
  • Шаныгин Виталий Яковлевич. Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления
  • Кол-во страниц:
  • 144
  • ВУЗ:
  • Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А.
  • Год защиты:
  • 2015
  • Краткое описание:
  • Шаныгин Виталий Яковлевич. Совершенствование технологии создания устройств микро- и наноэлектроники с использованием неравновесной СВЧ плазмы низкого давления: диссертация ... кандидата технических наук: 05.27.01 / Шаныгин Виталий Яковлевич;[Место защиты: Саратовский государственный технический университет имени Гагарина Ю.А.].- Саратов, 2015.- 144 с.
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины