Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантов
- Название:
- Новак Андрей Викторович. Исследование и разработка процесса формирования пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами для конденсатора с повышенной емкостью
- ВУЗ:
- Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
- Краткое описание:
- Новак Андрей Викторович. Исследование и разработка процесса формирования пленок поликристаллического кремния с полусферическими зернами для конденсатора с повышенной емкостью: диссертация ... кандидата технических наук: 05.27.01 / Новак Андрей Викторович;[Место защиты: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»].- Москва, 2014.- 136 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб