Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
- Название:
- Васин Владимир Анатольевич. Принципы и технология проектирования упруго-управляемых устройств вакуумного оборудования для производства полупроводниковых материалов и приборов электронной техники
- ВУЗ:
- ФГБОУ ВПО «МАТИ - Российский Государственный Технологический Университет имени К.Э. Циолковского»
- Краткое описание:
- Васин Владимир Анатольевич. Принципы и технология проектирования упруго-управляемых устройств вакуумного оборудования для производства полупроводниковых материалов и приборов электронной техники: диссертация ... доктора технических наук: 05.27.06 / Васин Владимир Анатольевич;[Место защиты: ФГБОУ ВПО «МАТИ - Российский Государственный Технологический Университет имени К.Э. Циолковского»].- Москва, 2013.- 385 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб