Васин Владимир Анатольевич. Принципы и технология проектирования упруго-управляемых устройств вакуумного оборудования для производства полупроводниковых материалов и приборов электронной техники



  • Название:
  • Васин Владимир Анатольевич. Принципы и технология проектирования упруго-управляемых устройств вакуумного оборудования для производства полупроводниковых материалов и приборов электронной техники
  • Кол-во страниц:
  • 385
  • ВУЗ:
  • ФГБОУ ВПО «МАТИ - Российский Государственный Технологический Университет имени К.Э. Циолковского»
  • Год защиты:
  • 2013
  • Краткое описание:
  • Васин Владимир Анатольевич. Принципы и технология проектирования упруго-управляемых устройств вакуумного оборудования для производства полупроводниковых материалов и приборов электронной техники: диссертация ... доктора технических наук: 05.27.06 / Васин Владимир Анатольевич;[Место защиты: ФГБОУ ВПО «МАТИ - Российский Государственный Технологический Университет имени К.Э. Циолковского»].- Москва, 2013.- 385 с.
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины