Курочка, Александр Сергеевич. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций :



  • Название:
  • Курочка, Александр Сергеевич. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Нац. исслед. технол. ун-т
  • Год защиты:
  • 2013
  • Краткое описание:
  • Курочка, Александр Сергеевич. Особенности электронной эмиссии для контроля процесса реактивного ионно-лучевого травления пленочных гетерокомпозиций : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Курочка Александр Сергеевич; [Место защиты: Нац. исслед. технол. ун-т].- Москва, 2013.- 149 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/1284
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины