Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Пинаев, Вячеслав Владимирович. Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления
- ВУЗ:
- С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)
- Краткое описание:
- Пинаев, Вячеслав Владимирович. Технология осаждения пленок оксинитрида титана методом реактивного магнетронного распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Пинаев Вячеслав Владимирович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2011.- 143 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/862
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб