Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Серегин, Дмитрий Сергеевич. Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем
- ВУЗ:
- Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики
- Краткое описание:
- Серегин, Дмитрий Сергеевич. Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Серегин Дмитрий Сергеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики].- Москва, 2011.- 151 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-5/1575
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб