Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Беспалов Алексей Викторович. Модификация эпитаксиальных слоев нитрида галлия в области дефектов роста методом периодического ионно-лучевого осаждения-распыления
- ВУЗ:
- Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики
- Краткое описание:
- Беспалов Алексей Викторович. Модификация эпитаксиальных слоев нитрида галлия в области дефектов роста методом периодического ионно-лучевого осаждения-распыления : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Беспалов Алексей Викторович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т радиотехники, электроники и автоматики].- Москва, 2010.- 118 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/3133
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб