Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Овчинников Вячеслав Алексеевич. Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве
- ВУЗ:
- Моск. гос. ин-т электронной техники
- Краткое описание:
- Овчинников Вячеслав Алексеевич. Разработка и исследование технологического процесса, режимов оборудования и методик устранения прозрачных и непрозрачных дефектов при изготовлении фотошаблонов в полупроводниковом производстве : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Овчинников Вячеслав Алексеевич; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2009.- 242 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/13
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб