Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Данилкин Евгений Викторович. Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции
- ВУЗ:
- Моск. гос. ин-т электронной техники
- Краткое описание:
- Данилкин Евгений Викторович. Исследование и оптимизация процесса реактивно-ионного травления углублений в кремнии для формирования мелкощелевой изоляции : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Данилкин Евгений Викторович; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2008.- 166 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/488
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб