Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Матузов Антон Викторович. Технология структур "карбид кремния - кремний" для приборов микроэлектроники и микросистемной техники
- ВУЗ:
- С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)
- Краткое описание:
- Матузов Антон Викторович. Технология структур "карбид кремния - кремний" для приборов микроэлектроники и микросистемной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Матузов Антон Викторович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2008.- 113 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/281
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб