Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Митченко Иван Сергеевич. Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния
- ВУЗ:
- Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т
- Краткое описание:
- Митченко Иван Сергеевич. Исследование влияния условий химического осаждения из газовой фазы на микроструктуру пленок карбида кремния : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Митченко Иван Сергеевич; [Место защиты: Сев.-Кавказ. гос. техн. ун-т].- Ставрополь, 2008.- 162 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/353
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб