Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Мьо Хейн Зо. Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы
- ВУЗ:
- Моск. гос. ин-т электронной техники
- Краткое описание:
- Мьо Хейн Зо. Разработка и исследование процессов формирования фоторезистивных пленок на подложках некруглой формы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06 / Мьо Хейн Зо; [Место защиты: Моск. гос. ин-т электронной техники].- Москва, 2008.- 169 с.: ил. РГБ ОД, 61 08-5/1173
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб