Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Редичев Евгений Николаевич. Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС
- Краткое описание:
- Редичев Евгений Николаевич. Размерный эффект плавления тонких медных пленок и его использование для формирования межсоединений кремниевых СБИС : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2006.- 121 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/1208
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб