Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Сергиенко Андрей Алексеевич. Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления
- Краткое описание:
- Сергиенко Андрей Алексеевич. Особенности кинетической ионно-электронной эмиссии с поверхности металлических и полупроводниковых пленочных материалов в процессе ионно-лучевого травления : дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2006 144 с. РГБ ОД, 61:07-5/1415
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб