Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
- Название:
- Гришко Анна Сергеевна. Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках цилиндрической формы
- Краткое описание:
- Гришко Анна Сергеевна. Разработка основ технологии получения эпитаксиальных слоев кремния в системе SiH4-H2 на подложках цилиндрической формы : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2005 136 с. РГБ ОД, 61:05-5/2875
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб