Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Фатьянова Галина Ивановна. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники
- Краткое описание:
- Фатьянова Галина Ивановна. Разработка и исследование методов и средств повышения технического уровня элементной базы вакуумного электронно-зондового и ионно-лучевого оборудования микроэлектроники : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 Москва, 2005 248 с. РГБ ОД, 61:05-5/2872
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб