Авдиенко Александр Андреевич. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Москва
Год защиты:
2004
Краткое описание:
Авдиенко Александр Андреевич. Физико-технические принципы построения, разработка и применение высокоэнергетичных ионных имплантеров : Дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 : Москва, 2004 322 c. РГБ ОД, 71:05-5/85