Артемов Евгений Иванович. Микроструктура и свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного сплава кремния с углеродом
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Москва
Год защиты:
2004
Краткое описание:
Артемов Евгений Иванович. Микроструктура и свойства тонких пленок аморфного гидрогенизированного сплава кремния с углеродом : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 : Москва, 2004 177 c. РГБ ОД, 61:05-5/1005