Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Самойликов Роман Вячеславович. Исследование эксплуатационных характеристик теплообменных систем оборудования полупроводникового производства
- Краткое описание:
- Самойликов Роман Вячеславович. Исследование эксплуатационных характеристик теплообменных систем оборудования полупроводникового производства : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2004.- 192 с.: ил. РГБ ОД, 61 05-5/2512
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб