Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Белянин Алексей Федорович. Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике
- Краткое описание:
- Белянин Алексей Федорович. Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике : Дис. ... д-ра техн. наук : 05.27.06 : Москва, 2002 346 c. РГБ ОД, 71:04-5/7-6
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб