Громов, Дмитрий Геннадьевич. Материалы и процессы формирования многослойной металлизации кремниевых СБИС
Кол-во страниц:
271
ВУЗ:
Москва
Год защиты:
2000
Краткое описание:
Громов, Дмитрий Геннадьевич. Материалы и процессы формирования многослойной металлизации кремниевых СБИС : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06.- Москва, 2000.- 271 с.: ил. РГБ ОД, 71 01-5/460-X