Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Середин Лев Михайлович. Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента
- Краткое описание:
- Середин Лев Михайлович. Основы технологии получения кремниевых структур с объемными элементами методом жидкофазной эпитаксии в поле температурного градиента : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Новочеркасск, 2000.- 175 с.: ил. РГБ ОД, 61 00-5/2198-7
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб