Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Енишерлова-Вельяшева, Кира Львовна. Физико-технологические основы управления процессами дефектообразования в кремниевых полупроводниковых структурах
- Краткое описание:
- Енишерлова-Вельяшева, Кира Львовна. Физико-технологические основы управления процессами дефектообразования в кремниевых полупроводниковых структурах : диссертация ... доктора технических наук : 05.27.06.- Москва, 1998.- 407 с.: ил. РГБ ОД, 71 99-5/528-0
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб