Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
скачать файл:
- Название:
- Турилин, Сергей Митрофанович. Экспериментальные исследование и численное моделирование газодинамических течений в процессе газофазной эпитаксии кремния
- Краткое описание:
- Турилин, Сергей Митрофанович. Экспериментальные исследование и численное моделирование газодинамических течений в процессе газофазной эпитаксии кремния : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 1996.- 26 с.: ил.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб