Панков, Владимир Викторович. Моделирование ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Минск
Год защиты:
1993
Краткое описание:
Панков, Владимир Викторович. Моделирование ионно-лучевых технологических процессов формирования тонкопленочных структур : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Минск, 1993.- 20 с.: ил.