Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
- Название:
- Спешилова Анастасия Борисовна. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением
- ВУЗ:
- ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»
- Краткое описание:
- Спешилова Анастасия Борисовна. Разработка технологии формирования фоторезистивных пленок прецизионной толщины с минимальной шероховатостью поверхности плазмохимическим травлением: автореферат дис. ... кандидата Технических наук: 05.27.06 / Спешилова Анастасия Борисовна;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»], 2019
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб