Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
- Название:
- Милованов Роман Александрович. Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди
- ВУЗ:
- Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет)
- Краткое описание:
- Милованов Роман Александрович. Технологические основы и методики послойного травления кристаллов интегральных схем с системой межсоединений на основе меди: диссертация ... кандидата технических наук: 05.27.06 / Милованов Роман Александрович;[Место защиты: Московский государственный институт радиотехники, электроники и автоматики (технический университет)].- Москва, 2016.- 192 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб