Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология, оборудование и производство электронной техники
- Название:
- Харламов Николай Александрович. Ионно-пламзенное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x) (AlN)x на монокристаллическом кремнии
- ВУЗ:
- Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
- Краткое описание:
- Харламов Николай Александрович. Ионно-пламзенное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x) (AlN)x на монокристаллическом кремнии: диссертация ... кандидата технических наук: 05.27.06 / Харламов Николай Александрович;[Место защиты: Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"].- Москва, 2015.- 141 с.
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб