Харламов Николай Александрович. Ионно-пламзенное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x) (AlN)x на монокристаллическом кремнии



  • Название:
  • Харламов Николай Александрович. Ионно-пламзенное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x) (AlN)x на монокристаллическом кремнии
  • Кол-во страниц:
  • 141
  • ВУЗ:
  • Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
  • Год защиты:
  • 2015
  • Краткое описание:
  • Харламов Николай Александрович. Ионно-пламзенное получение и возможность использования слоев твердого раствора на основе (SiC)1-x) (AlN)x на монокристаллическом кремнии: диссертация ... кандидата технических наук: 05.27.06 / Харламов Николай Александрович;[Место защиты: Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"].- Москва, 2015.- 141 с.
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины