ПОСЛЕДНИЕ НОВОСТИ
| Бесплатное скачивание авторефератов |
| СКИДКА НА ДОСТАВКУ РАБОТ! |
| Авторские отчисления 70% |
| Снижение цен на доставку работ 2002-2008 годов |
| Акция - новый год вместе! |
ПОСЛЕДНИЕ ОТЗЫВЫ
Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология приборостроения
- Название:
- Родионов Илья Анатольевич. Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения
- Кол-во страниц:
- 200
- ВУЗ:
- Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана
- Год защиты:
- 2010
- Краткое описание:
- Родионов Илья Анатольевич. Разработка литографических процессов изготовления СБИС с размерами элементов меньше длины волны экспонирующего излучения : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14 / Родионов Илья Анатольевич; [Место защиты: Моск. гос. техн. ун-т им. Н.Э. Баумана].- Москва, 2010.- 165 с.: ил. РГБ ОД, 61 10-5/3039
- Список литературы:
- -
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб
