Каталог / ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ / Технология приборостроения
- Название:
- Великовский Илья Эдуардович. Исследование и разработка технологического процесса изготовления субмикронных затворов гетероструктурных СВЧ транзисторов методом контактной фотолитографии
- ВУЗ:
- Моск. гос. ун-т приборостроения и информатики
- Краткое описание:
- Великовский Илья Эдуардович. Исследование и разработка технологического процесса изготовления субмикронных затворов гетероструктурных СВЧ транзисторов методом контактной фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14 / Великовский Илья Эдуардович; [Место защиты: Моск. гос. ун-т приборостроения и информатики].- Москва, 2009.- 165 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/2673
- Стоимость доставки:
- 230.00 руб