Великовский Илья Эдуардович. Исследование и разработка технологического процесса изготовления субмикронных затворов гетероструктурных СВЧ транзисторов методом контактной фотолитографии :



  • Название:
  • Великовский Илья Эдуардович. Исследование и разработка технологического процесса изготовления субмикронных затворов гетероструктурных СВЧ транзисторов методом контактной фотолитографии
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Моск. гос. ун-т приборостроения и информатики
  • Год защиты:
  • 2009
  • Краткое описание:
  • Великовский Илья Эдуардович. Исследование и разработка технологического процесса изготовления субмикронных затворов гетероструктурных СВЧ транзисторов методом контактной фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14 / Великовский Илья Эдуардович; [Место защиты: Моск. гос. ун-т приборостроения и информатики].- Москва, 2009.- 165 с.: ил. РГБ ОД, 61 09-5/2673
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины