Наумов Александр Сергеевич. Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Москва
Год защиты:
2007
Краткое описание:
Наумов Александр Сергеевич. Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы : диссертация ... кандидата технических наук : 05.11.14.- Москва, 2007.- 162 с.: ил. РГБ ОД, 61 07-5/3822