Сабирзянов Наиль Ринатович. Разработка криовакуумного обеспечения нанотехнологических установок
Кол-во страниц:
200
ВУЗ:
Москва
Год защиты:
2005
Краткое описание:
Сабирзянов Наиль Ринатович. Разработка криовакуумного обеспечения нанотехнологических установок : Дис. ... канд. техн. наук : 05.04.03 Москва, 2005 176 с. РГБ ОД, 61:06-5/2571