Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства :



  • Название:
  • Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Томский политехн. ун-т
  • Год защиты:
  • 2000
  • Краткое описание:
  • Хаханин, Сергей Юрьевич. Разработка методов и средств контроля параметров рекуперации реагентов в безотходных технохимических процессах планарного микроэлектронного производства : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Томский политехн. ун-т.- Москва, 2000.- 22 с.: ил.
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины