Семин, Юрий Федорович. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров :



  • Название:
  • Семин, Юрий Федорович. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров
  • Кол-во страниц:
  • 200
  • ВУЗ:
  • Физико-технол. ин-т
  • Год защиты:
  • 1998
  • Краткое описание:
  • Семин, Юрий Федорович. Исследование рентгенолитографических процессов и разработка оборудования для получения структур субмикронных размеров : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.27.07 / Физико-технол. ин-т.- Москва, 1998.- 16 с.: ил. РГБ ОД, 9 98-5/4075-3
  • Список литературы:
  • -
  • Стоимость доставки:
  • 230.00 руб


ПОИСК ДИССЕРТАЦИИ, АВТОРЕФЕРАТА ИЛИ СТАТЬИ


Доставка любой диссертации из России и Украины